Что такое турбомолекулярный насос?

Пустое пространство, которое не заполнено воздухом (и в том числе любыми газами), мы привыкли называть вакуумом. В чистом виде его можно встретить исключительно в космосе. Но если использовать турбомолекулярный насос, вакуум можно создать искусственным путем. Он сегодня используется как в промышленности, так и в разных исследовательских лабораториях. Такие насосы часто называются и вакуумными. Но это понятие немного неправильное. И вот в чем причина такого недопонимания.

Когда изобретен такой насос?

Все дело в том, что даже пустое пространство бывает разное. То есть, вакуум может быть четырех видов:

- низким;

- средним;

- глубоким;

- сверхглубоким.

И чтобы создать сверхглубокий вакуум, как раз и требуется турбомолекулярный насос. Такое оборудование успешно используется в промышленности уже давно. Вместе с диффузионными насосами они относятся к категории таких насосов, которые способны очень быстро переносить определенную среду.

Подобное оборудование впервые появилось еще в начале XX столетия. Но в нем были некоторые недостатки, которые не позволяли его успешно задействовать в промышленной сфере. Те турбомолекулярные насосы, которые используются сегодня, изобрел В. Беккер. Это произошло в 1957 году. Такие насосы отличаются надежным принципом работы, долговечностью и очень высокой производительностью. Но вместе с тем они очень дорого стоят. Их часто называют и кинетическими вакуумными насосами.

Устройство турбомолекулярного насоса

По своей конструкции они чем-то схожи на турбину. Это многоступенчатый ротор, чем-то напоминающий турбину с дисками, которая помещена в специальный корпус. Чаще всего для изготовления ротора используют алюминиевый сплав очень высокой прочности. Как внутренняя, так и наружная часть ротора изготавливаются таким образом, чтобы там образовались канавки. Они должны быть спиральными и взаимодействовать со статором таким образом, чтобы по ним осуществлялась перекачка газов и воздуха.

Получается, что как внутреннюю, так и наружную часть ротора можно назвать удлиненным перекачивающим каналом. По своей форме и размерам данные канавки разные. Это сделано для того, чтобы происходило многоступенчатое сжатие. Самые современные турбомолекулярные насосы могут сжать азот до 10-9 (до 10 в девятой степени). Они отличаются очень высоким качеством работы.

Дата публикации: 19/11/2016